單晶和多晶少數(shù)載流子壽命在線測(cè)試設(shè)備

簡單描述：應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。
在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從
更新時(shí)間：2024-08-29
產(chǎn)品型號(hào)：MDPlinescan

詳細(xì)介紹

各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測(cè)量進(jìn)行檢測(cè)。硬件系統(tǒng)被靈活地安裝來執(zhí)行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統(tǒng)或自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行簡單的連接和通信。

MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)上。關(guān)鍵測(cè)量是少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量探頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查，測(cè)量速度小于每晶片一秒。電池生產(chǎn)線的進(jìn)料質(zhì)量調(diào)查是常見的應(yīng)用案例，以及在鈍化和擴(kuò)散之后的工藝質(zhì)量檢查，在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng)。

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